方案概述
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備
禾川方案
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視覺定位
視覺定位，進行檢測偏差，補償給控制系統(tǒng)
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高重合精度
高精度，高響應(yīng)定位，控制伺服驅(qū)動
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高像素相機
視覺實時測量晶棒生長尺寸
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高速處理數(shù)據(jù)
高速PLC 承載著整個系統(tǒng)的運算及執(zhí)行
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